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測量顯微鏡，歷史上是以準確的倍率把工件形狀放大以后，通過與模板進行象面比對，進行測量、檢查的顯微鏡。為此，與通常的觀察用顯微鏡不同，它采用與輪廓投影儀相同的遠心光路系統，其物鏡倍率也很準確。
近年來，使用CCD并輔以必要的測量軟件，測量顯微鏡不僅可以對所攝取的工件視頻圖象進行窗內坐標測量，依靠測量載物臺帶動工件移動，還可以實現超視窗的坐標測量，這已經成為它的主流用法。為了適應這種需求，載物臺的行程需要更大，計算機數據處理功能也需要更強。
另外，近來隨著測量顯微鏡光學系統制作倍率的更加準確，也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡易偏光觀察等功能的通用型光學頭。在高倍率觀察時，還可以使用FA（輔助對焦）鏡筒進行高度測量，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測量的重復精度。測量顯微鏡配上數碼相機，還可以拍攝數碼相片。多種選配功能，使得測量顯微鏡的應用越來越廣。